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环形扫描测量:区别于常规的单点或局部测量方式,它能够围绕薄膜进行环形扫描测量。这种方式可以获取薄膜圆周方向上多个位置的厚度数据,全面且细致地反映薄膜厚度的分布情况,避免因局部测量导致的误差和遗漏,提供更准确、完整的薄膜厚度信息。
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